供应光学轮廓仪
规格 NT9100 NT9300 NT9800
测试功能 非接触式,适用于三维形貌,表面,薄膜,摩擦学
物镜 1.5倍,2.5倍,10倍,20倍,50倍,可达0.75至100倍放大倍数,可选长工作距离,可选自动物镜旋转台
视场放大镜 0.55,0.75,1,1.5,2倍 0.55倍,0.75倍,1,倍,1.5倍,2倍,自动感应机动选择器,分级放大
垂直测量范围 标配0.1nm至10nm
垂直分辨率 小于0.1nm
垂直少秒速率 24μ米/S 25μ米/S 80μ米/S
RMS重复率 0.05nm
横向采样间隔 0.1―13.2μ米
光学分辨率 最小可达0.49μ米